此时此刻,这台光刻机的主工作站,显示器上正显示着各项数据。这些数据就是光刻机各个部件的实时数据。比如说,光刻车间里的温度、湿度、车间里的灰尘颗粒物的大小等。
但万宁古却没有按照光刻机工作站的屏幕,显示的数据来作为判断。他还是安排人员,去一项数据一贤数据的排查,核对实时数据。
经过一番比对,万宁古再次看了看手中的数据表格文件,发现一切数据都正常。他随后朝下的团队成员猛然一挥手,“开始!咱们立即开始做光刻模拟实验。”
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