按照李尧的设想,应用到光刻机主体系统和激光光路系统方面的pdix系统,应该采用能量消耗的模式来削减震动量,这种方法最简单,设备改造和系统调试的速度最快,符合目前的项目现状。
“倘若我们重新设计一台光刻机,咱们应该从两个方面来着手。一是要采用能量消耗的模式削减机床震动量,二是要寻找能吸收震动波的特殊材料。只有这样,我们才会制造越来越先进的pdix系统。”
到了最后,李尧提出一个更深层次的技术设想。
他这套理论方案正好是许振鸣所期望的,也能应用到一鸣集团公司的数控机床、智能机械等方面。
“好,这个方案比较科学。我特别赞同老李的方案设想。”因此,李尧一介绍完自己的技术方案设想,许振鸣就给他鼓掌以激励。
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