这两套系统都是一鸣集团公司自己设计、自己制作的。目前已经通过分体式的测试和验证，却还没有进行组合式的测试和论证。
刘教授等人来得正好，可以见证华国第一台krf光刻机对接组装、调试和流片测试的整个流程。
他们算是运气好，碰到好机遇了。
“老师，我们这边已经做好准备，现在要不要对接激光光路系统和光刻机主体系统？”这时，胡明镇的学生梁宋松推开玻璃门，笑眯眯的前来征求指令。
胡明镇扫了一眼梁宋松递来的测试报告，见数据都很正常，微微点点头，“好，准备开始执行光刻机接驳工艺流程。”
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